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【SECS/GEM开发】

一、概述   SECS/GEM是由国际半导体设备与材料协会(SEMI)制定的连接性标准。此连接性标准用于在设备和工厂的资讯和控制系统间建立通讯。SECS是SEMI设备通讯标准的缩写。GEM指SEMI连接性标...

2019/12/27 11:18
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